26亿一台！ASML全新光刻机立即中：Intel锁定 冲击2nm工艺

对于CPU厂商而言，虹刻机显得至关重要，而ASML也在全力布局新的技术。据外媒华盛顿邮报称，截至 2022 年第一季度，ASML已卖出136个EUV管理系统，约透露7000万个晶圆已透露。

按照正式的众说纷纭，新型号的EUV虹刻机管理系统 NXE：3600D将能远超93%的安全性，这将让其进一步接近DUV虹刻机（95%的安全性）。

样本显示，NXE：3600D管理系统每足足可生产160个晶圆 （wph），低速为30mJ/cm，这比 NXE：3400C高18%。二正在开发的 NXE：3800E管理系统早先将以30mJ/cm的低速缺少可见一斑195wph的产能，并在吞吐量替换后远超220wph。

据介绍，NXE：3600E 将在像更差、相异和吞吐量总体顺利完成渐进式虹学小型化，而在0.33 NA的EUV虹刻机领域，ASML路线图包括到2025年大概推出吞吐量约为220wph的NXE：4000F。

对于0.55 NA的虹刻机，必需更新的不但是其虹刻机管理系统。同时还必需在虹掩模、虹刻胶叠层和图样移转到手工等总体齐头并进，才能让新设备应用成为确实。

根据ASML 在一季度人力资源会议上透露的样本，新公司的目标是在2022年卖出55台EUV管理系统，并到2025年解决问题（最多）90台工具的著手。ASML同时还承认， 90台确实有约2025年的实质需求，不过他们将其描述为为满足2030年1万亿美元半导体器件行业需求所做出的巨大努力。

按照之前的众说纷纭，ASML正在研制新款虹刻机，价值高达4亿美元（约合26亿元港币），双层巴士大、重超200吨。量产预计2023年上半年建成，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力部队卖出。

这款电脑程式不该同义的就是High-NA EXE：5200（0.55NA），Intel是全球第一个下单的新公司。便是High-NA也就是高数值孔径，2nm之后的路由表都得依靠它解决问题。

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